รายละเอียดมาตรฐานผลิตภัณฑ์อุตสาหกรรม
60749 เล่ม 27-2567
อุปกรณ์สารกึ่งตัวนำ - วิธีทดสอบทางกลและภาวะอากาศ เล่ม 27 การทดสอบความไวต่อการปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต (ESD) - แบบจำลองเครื่องจักร (MM)
SEMICONDUCTOR DEVICES - MECHANICAL AND CLIMATIC TEST METHODS - PART 27: ELECTROSTATIC DISCHARGE (ESD) SENSITIVITY TESTING - MACHINE MODEL (MM)
มอก. มาตรฐานทั่วไป
30 สิงหาคม 2568
IEC 60749-27 Edition 2.1 (2012-09)
ประกาศและงานทั่วไป
142
พิเศษ 284 ง หน้า 55
29 สิงหาคม 2568
26 มีนาคม 2568
- กำหนดขึ้นโดยรับ IEC 60749-27 Edition 2.1 (2012-09) Semiconductor devices - Mechanical and climatic test methods - Part 27: Electrostatic discharge (ESD) sensitivity testing - Machine model (MM) มาใช้โดยวิธีพิมพ์ซ้ำ (reprinting) ในระดับเหมือนกันทุกประการ (identical) โดยใช้ IEC ฉบับภาษาอังกฤษเป็นหลัก
- กำหนดขั้นตอนสำหรับการทดสอบและการจัดประเภทอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำตามความละเอียดอ่อนของอุปกรณ์นั้นต่อความเสียหายหรือการเสื่อมสภาพโดยการรับการปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต (electrostatic discharge : ESD) กับแบบจำลองเครื่อง (machine model : MM) ที่กำหนดไว้ วิธีทดสอบนี้สามารถใช้เป็นวิธีทดสอบทางเลือกแทนวิธีทดสอบ ESD แบบจำลองร่างกายมนุษย์ วัตถุประสงค์เพื่อให้ได้ผลทดสอบ ESD ที่เชื่อถือได้และทำซ้ำได้ เพื่อให้สามารถจัดประเภทได้อย่างแม่นยำ
- วิธีทดสอบนี้ใช้ได้กับอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำทั้งหมดและจัดเป็นการทดสอบ
แบบทำลาย
- การทดสอบ ESD ของอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำจะเลือกใช้วิธีทดสอบนี้หรือแบบจำลองร่ายการมนุษย์ (human body model : HBM – ดูใน
IEC 60749-26) หรือวิธีทดสอบอื่นในอนุกรม IEC 60749 การทดสอบ
วิธีทดสอบ MM และ HBM ให้ผลการทดสอบคล้ายคลึงกันแต่ไม่เหมือนกัน เว้นแต่จะมีการระบุไว้เป็นอย่างอื่น วิธีทดสอบ HBM เป็นวิธีหนึ่งที่ถูกเลือก
หมายเหตุ 1 วิธีทดสอบนี้ไม่ได้จำลองการปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตจากเครื่องจักรหรือเครื่องมือโลหะได้อย่างแท้จริง เพราะวิธีทดสอบนี้
ใช้การเหนี่ยวนำพาราซิติก (parasitic inductance) สูงของวงจรทดสอบ ในขณะที่เครื่องจักรและเครื่องมือโลหะแท้จริง
ซึ่งเวลาที่เพิ่มขึ้นของการปล่อยประจุอยู่ที่ประมาณ 100 ps.
จะไม่มีการเหนี่ยวนำ
หมายเหตุ 2 บางข้อในวิธีทดสอบนี้สอดคล้องกับ IEC 61340-3-2